【Produkt Einleitung】
MATERIALEIGENSCHAFTEN
Parameter | Charakteristisch | ASTM-Control-Methode |
Typ/Dotierstoff | P, N Bor, Phosphor N, N Antimon, Arsen | F42 |
Orientierungen | <100>,<111>Schneiden Sie Weg Orientierungen pro Kundenspezifikation | F26 |
Sauerstoffgehalt | 1018PpmA Custom Toleranzen pro Kundenspezifikation | F121 |
Kohlenstoffgehalt | < 0.5="" ppma="" custom="" tolerances="" per="" customer's="" =""> | F123 |
Widerstandsmessungen reicht-P, Arsen, Antimon - N, Bor - N, Phosphor - N | 0,001 - 50 Ohm·cm | F84 |
MECHANISCHE EIGENSCHAFTEN
Parameter | Prime | Monitor / A-Test | Test | ASTM-Methode |
Durchmesser | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,5 mm | F613 |
Dicke | 525 ± 20 µm (Standard) | 525 ± 25 µm (standard) 381 ± 25 µm 625 ± 25 µm 700 ± 25 µm 800 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 525 ± 50 µm (Standard) | F533 |
TTV | < 5=""> | < 10=""> | < 15=""> | F657 |
Bogen | < 30=""> | < 30=""> | < 40=""> | F657 |
Wickeln Sie | < 30=""> | < 30=""> | < 40=""> | F657 |
Kante abgerundet | SEMI-STD | F928 | ||
Kennzeichnung | SEMI-STD Wohnungen, primäre Semi-Wohnung nur | F26, F671 | ||
OBERFLÄCHENQUALITÄT
Parameter | Prime | Monitor / A-Test | Test | ASTM-Methode |
Vorderseite-Kriterien | ||||
Oberflächenbeschaffenheit | Chemischen mechanisch poliert | Chemischen mechanisch poliert | Chemischen mechanisch poliert | F523 |
Rauheit der Oberfläche | < 2=""> | < 2=""> | < 2=""> | |
Kontamination, Partikel @ > 0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Dunst, Gruben, Orangenschale | Keine | Keine | Keine | F523 |
Sägespuren, Schlieren | Keine | Keine | Keine | F523 |
Rückseite-Kriterien | ||||
Risse, Krähenfüsse, Sägespuren, Flecken | Keine | Keine | Keine | F523 |
Oberflächenbeschaffenheit | Lauge, geätzt | F523 | ||
【.Produktbeschreibung】
Mikroelektronik Produktlinie umfasst einseitig poliert (SSP) und doppelte Seite poliert (DSP) Wafer Substrate. Doppelte Seite poliert Wafer sind in der Regel erforderlich, in Halbleiter, MEMS, und andere Anwendungen, wo Wafer mit Ebenheit Eigenschaften hochstrukturiert, erforderlich sind.
Wir bieten auch rechteckige und quadratische Wafer Stücke. Im Grunde ist die realisierbare Palette von den Kantenlängen für Silizium-Wafer 5 x 5 mm2... 100 x 120 mm2 etc.. Die Kosten / Wafer Stück richtet sich auf das Material sowie die Anzahl der benötigten Teile der Wafer.
Maßgeschneiderte Würfeln und Polieren ist auch Avaible entsprechend Ihren Anforderungen. Bitte zögern Sie nicht uns zu kontaktieren.
【.Produkt-features】
· 4" P/N-Typ, poliert-Silizium-Wafer (25 Stk.)
· Orientierung: 100
· Widerstand: 0,1 - 40 Ohm·cm (es kann von Charge zu Charge variieren)
· Dicke: 525 + /-20um
· Prime/Monitor/Prüfklasse
Beliebte label: wafer-4 Zoll (100mm), China, Lieferanten, Hersteller, Fabrik, hergestellt in China
